(1) حالول microanalyseur يعمل عن طريق خَذْف bombardement البراقين (جمع بَرْقون) على عناصر سطحية دقيقة، مع مسح نطاق كامل ورسم «خريطة» للتكوينات compositions.
(2) جهاز تحليل يعمل على عناصر سطحية دقيقة، مع مسح لمجموعة كاملة وإعداد «حسب الطلب» للتكوينات.
(3) المِسْقاح (المسبار التِّقاني الحالولي) electron probe microanalyser، هو جهاز لتركيز البراقين بواسطة عدسات مِنْدالية (مغناطيسية) أو تِقانية (إلكترونية). تتسبب حزمة البراقين المركزة على سطح بترتيب مِبْقاس مربع، في انبعاث عند نقطة التأثير، إشعاع سيني المستعمل في تحليل نقطي غير مُدمِّر.